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产品简介
技术参数
| 项目 | 数据 |
| 设备型号 | M82 750B 6K |
| 操作系统 | SXG-MPCVD控制系统 |
| 微波频率 | 2450MHz,输出功率：6KW |
| 反应腔 | 承载功率≦10KW |
| 生长台 | Φ2英寸 |
| 工作压力 | 10-200Torr |
| 标准气路 | 5路/6路（可定制） |
| 测温系统 | 红外测温，测温范围300～1400℃ |
| 系统真空密封性（氦质谱捡漏） | <1×10-9 Torr.l/sec |
| 真空泵 | 17.1 m3/H |
| 设备尺寸 | 1500MM（长）*800MM（深）*1980MM（高） |
| 设备重量 | 490KG |
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